Material des isolierenden Keramiksubstrats

Als Ergebnis, um die Isolierung herzustellenKeramiksubstratEs sind hohe Wärmeleitungsraten und mechanische Festigkeit erforderlich. Als Material zur Isolierung keramischer Substrate können neben Aluminiumnitrid auch Siliziumnitrid für die Isolierung aufgeführt werdenKeramiksubstratDa bei Verwendung von Aluminiumnitrid die Wärmeleitungsrate hoch, aber die mechanische Festigkeit gering ist, können solche Risse leicht entstehen. Das Leistungshalbleitermodul für diese Art von Struktur wird verwendet, um eine große Belastung auf das Keramiksubstrat auszuüben. Daher wird in der folgenden Patentliteratur 1 ein Fall einer Siliziumnitridplatte öffentlich bekannt gemacht, um den Anteil der Glasphase mit niedriger Wärmeleitungsrate zu verringern und die Wärmeleitfähigkeit der Siliziumnitridplatte mit niedriger Wärmeleitungsrate zu erhöhen. Das Folgende ist das erste bekannte Beispiel dieser Technik;

Darüber hinaus werden in der folgenden Patentliteratur 2 Fälle von Siliziumnitrid erwähntKeramikMaterialien werden öffentlich bekannt gegeben, um eine Intrinsisierung des Kristallbereichs zu bewirken, um Siliziumnitridkörner fester durch die Kristallphase innerhalb der Linse zu verbinden. Zur Verbesserung der Intensität. Die Technologie ist das zweite bekannte Beispiel; Darüber hinaus ist in der folgenden Patentliteratur 3 ein Beispiel für die Veröffentlichung von Siliziumnitrid-Wärmeableitungskomponenten öffentlich zugänglich. Wärmeableitungsteile aus Siliziumnitrid. Die Technologie ist das dritte bekannte Beispiel; Darüber hinaus gibt es in der folgenden Patentliteratur 4 Beispiele für Siliziumnitrid-Sinterkörper. Aufrüttelnder Sarkasmus mit hervorragender Wirkung.